技术开発
クリーンルーム向け省エネ空调システム「ＤＯＵＰ（ドゥーアップ）」を开発
－夏期ピーク时も设备动力を削减。年间削减効果４０％－
2018年4月26日
海角吃瓜网株式会社（社长：长谷川 勉）は、クリーンルーム内の気流を最适化した省エネ空调システム「ＤＯＵＰTM（ドゥーアップ）」を开発しました。
この空调システムは、当社がこれまでに培ってきたクリーンルーム设计施工のノウハウを活かし、クリーンルーム内の生产装置の稼働状况をもとに、高い清浄度が要求されるオペレーションエリアと、生产装置発热が大きいメンテナンスエリアとを、それぞれ适した方法で空调することに着目した技术です。
冷水温度の最适化により夏期ピーク时の设备动力削减が図られ、様々な省エネ手法との组み合わせにより、従来のクリーンルームと比べ、年间约４０％の冷热源动力を削减できます。
●これまでの『流れ』を変える『ＤＯＵＰTM（ドゥーアップ）』
半导体前工程クリーンルームは、间仕切りのない大空间に生产装置を配置する「ボールルーム方式」が一般的です。除尘?冷却された高清浄度の空调空気は、天井面に均一に配置されたファンフィルタユニット（ＦＦＵ）によって、各エリアに分配供给されます。製品を取り扱う生产装置前面のオペレーションエリア、および装置本体が设置されているメンテナンスエリアで、それぞれ清浄度の维持と热负荷処理が同时に行われ、合流し冷却后、レタンスペースを介して再びＦＦＵに供给されます。
『ＤＯＵＰTM（ドゥーアップ）』はこの空気の流れに着目した技术です。
ＤＯＵＰTMでは、まずオペレーションエリアに対して集中的に清浄空気をＦＦＵで供给し、エリア全体の清浄度を确保します。次に、この空调空気をメンテナンスエリアへ供给し、生产装置の冷却に使います。両エリアは生产装置上部高さまでの垂れ壁で、简易に仕切られます。この结果、オペレーションエリアにダウンフロー（ＤＯＷＮ ＦＬＯＷ）とメンテナンスエリアにアップフロー（ＵＰ ＦＬＯＷ）を形成し、除尘?冷却された空调空気を効率的に使うことが可能となります。
●『ＤＯＵＰTM（ドゥーアップ）』の特长
１．クリーンルームの省エネ运用
ＤＯＵＰTMでは、発热负荷の少ないオペレーションエリアにまず空调空気を供给し、その后発热负荷の多いメンテナンスエリアで温まった暖気を上部に溜めて排出します。オペレーションエリアの吹出空気温度は20℃程度となり、高温冷水系统の温度を15℃まで上げることができます。冷冻机を効率よく运転することが可能になるとともに、排热回収などの省エネ手法との相乗効果が高まることから、低温（6℃）単一热源方式の场合と比较し年间の冷热源动力を大幅に削减できます。
２：製品への汚染リスクの低减
ＤＯＵＰTMでは、オペレーションエリアで强い下降流となるため、作业员から装置への水平方向の尘埃拡散が抑制されます。一方でメンテナンスエリアでは上昇気流となり、装置メンテナンス时に、作业员から装置内部への下方向の尘埃拡散を抑制します。
３：フロア面积の有効活用
ＤＯＵＰTMでは、冷却に必要なコイルが天井エリアの壁面に设置されるため、レタンスペースが不要となり、フロア面积を有効に活用できます。
●今后の展开
现在、１件の半导体工场前工程クリーンルームへの採用が决定しており、また复数案件について提案を行っています。今后、クリーンルームの新しい省エネ技术として积极的に営业展开してまいります。
